国家标准计划《利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 国家纳米科学中心 。

主要起草人 朱晓阳 、杨延莲 、贺蒙 、高洁 。

本标准修改采用其他国际标准：ASTM E 2530:2006。

采标中文名称:利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法。