注册

国家标准计划《电子工业用气体 硅烷》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 西南化工研究设计院有限公司浙江赛林硅业有限公司广东华特气体股份有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司高麦仪器公司天津长芦华信化工股份有限公司大连大特气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海计量测试研究院化工气体质检中心江苏中能硅业科技发展有限公司浙江中宁硅业有限公司南京亚格泰新能源材料有限公司浙江大学安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司

主要起草人 余京松杨智敏傅铸红杜汉盛孙福楠牛艳东李长富周朋云曲庆方华陈鹰常侠刘晓霞周延江高平洲徐昕

目录

项目进度

基础信息

计划号
20132257-T-469
制修订
修订
项目周期
24个月
下达日期
2014-01-26
全部代替标准
GB/T 15909-2009
标准类别
产品
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

余京松
杨智敏
孙福楠
牛艳东
曲庆
方华
刘晓霞
周延江
傅铸红
杜汉盛
李长富
周朋云
陈鹰
常侠
高平洲
徐昕

相近标准(计划)