国家标准计划《半导体材料切削液》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后7个月正式实施。
主要起草单位 扬州华裕光伏材料有限公司 、西安飞讯光电有限公司 、扬州市职业大学 、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。
主要起草人 缪德俊 、徐蓉艳 、缪立山 、彭新玲 、丁浩 、郭倩 、蒲学军 。
20100111-T-469 已发布