国家标准计划《吸气剂成分分析测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 南京华东赛斯真空材料有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究所 、中国电子科技集团公司第十二研究所 。
主要起草人 薛函迎 、郭卫斌 、张巨先 、刘筠 。
GB/T 6625-1986 （全部代替）
GB/T 6626.2-1986 （全部代替）
GB/T 9506.3-1998 （全部代替）
20060987-T-469 已发布
| 31 电子学 |
| 31.030 电子技术专用材料 |
全国标准信息公共服务平台
