国家标准《氮化镓激光剥离设备》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 东莞市中镓半导体科技有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。

主要起草人 孙永健 、刘鹏 、丁晓民 、冯亚彬 、汪青 。