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国家标准《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》 由TC608(全国表面化学分析标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国科学院

主要起草单位 中国计量科学研究院

主要起草人 王海王梅玲张艾蕊宋小平

目录

标准状态

当前标准

GB/T 36053-2018 现行

X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

基础信息

标准号
GB/T 36053-2018
发布日期
2018-03-15
实施日期
2019-02-01
标准类别
方法
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
71 化工技术
71.040 分析化学
71.040.40 化学分析
归口单位
全国表面化学分析标准化技术委员会
执行单位
全国表面化学分析标准化技术委员会
主管部门
中国科学院

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准:ISO 16413:2013。

采标中文名称:X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告。

起草单位

起草人

王海
王梅玲
张艾蕊
宋小平

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