国家标准《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》 由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国计量科学研究院 。
主要起草人 王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。
GB/T 36053-2018 现行
71 化工技术 |
71.040 分析化学 |
71.040.40 化学分析 |
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 16413:2013。
采标中文名称:X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告。