国家标准计划《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。 拟实施日期：发布后3个月正式实施。

主要起草单位 中国计量科学研究院 、季华实验室 、青岛市计量技术研究院 、北京化工大学 。

主要起草人 王海 、王梅玲 、任丹华 、张艾蕊 、周彦 、范燕 、王晓康 、程斌 、陈铮 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16413: 2020。

采标中文名称:X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告。