国家标准《硅单晶》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研新材料股份有限公司 、天津市环欧半导体材料技术有限公司 、浙江中晶科技股份有限公司 、浙江省硅材料质量检验中心 、杭州海纳半导体有限公司 、万向硅峰电子股份有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、上海合晶硅材料有限公司 、中国有色金属工业标准计量质量研究所 、广东泰卓光电科技股份有限公司 。

主要起草人 孙燕 、张果虎 、张雪囡 、黄笑容 、楼春兰 、王飞尧 、朱兴萍 、何良恩 、徐新华 、杨素心 、由佰玲 、李丽妍 。