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硅单晶腐蚀片

行业标准-YS 有色金属 推荐性 现行

行业标准《硅单晶腐蚀片》，主管部门为工业和信息化部。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止

基础信息

标准号
YS/T 1167-2016
发布日期
2016-07-11
实施日期
2017-01-01
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
主管部门
工业和信息化部
行业分类
无

备案信息

备案号：55814-2016。

备案公告： 2016年第11号 。

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