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技术委员会
硅单晶腐蚀片
行业标准-YS 有色金属
推荐性
现行
行业标准《硅单晶腐蚀片》,主管部门为
工业和信息化部
。
目录
标准状态
发布
于 2016-07-11
实施
于 2017-01-01
废止
基础信息
标准号
YS/T 1167-2016
发布日期
2016-07-11
实施日期
2017-01-01
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
主管部门
工业和信息化部
行业分类
无
备案信息
备案号:55814-2016。
备案公告:
2016年第11号
。
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