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硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption
国家标准 推荐性 废止

国家标准《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 峨嵋半导体材料厂 。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止
代替了以下标准

GB 1558-1983 （全部代替）

当前标准

GB/T 1558-1997 废止

硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
被以下标准替代

GB/T 1558-2009 （全部代替）

硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法

基础信息

标准号
GB/T 1558-1997
发布日期
1997-12-22
实施日期
1998-08-01
废止日期
2010-06-01
上次复审日期
2010-07-28
上次复审结论
继续有效
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

采标情况

本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F123:1991。

采标中文名称:。

起草单位

峨嵋半导体材料厂

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