国家标准《离子束蚀刻机通用规范》 由339-1（工业和信息化部（电子））归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十八研究所 。
主要起草人 陈特超 、周大良 。
GB/T 15861-1995 （全部代替）
GB/T 15861-2012 现行
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