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硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

Polycrystalline silicon--Examination method--Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
国家标准 推荐性 废止

国家标准《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 峨嵋半导体材料厂 。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止
当前标准

GB/T 4061-1983 废止

硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
被以下标准替代

GB/T 4061-2009 （全部代替）

硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

基础信息

标准号
GB/T 4061-1983
发布日期
1983-12-20
实施日期
1984-12-01
废止日期
2010-06-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H25
国际标准分类号
77.040.30
77 冶金
77.040 金属材料试验
77.040.30 金属材料化学分析
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

峨嵋半导体材料厂

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