国家标准《物理气相沉积TiN薄膜技术条件》 由TC57(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 武汉材料保护研究所 。
GB/T 18682-2002 现行