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释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂放气量的测试方法

Test methods for the characteristics of getter-mercury dispenser--Test method for gas emission of getter mercury dispenser
国家标准 推荐性 废止

国家标准《释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂放气量的测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 南京工学院 。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止
当前标准

GB/T 6626.3-1986 废止

释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂放气量的测试方法
被以下标准替代

GB/T 25497-2010 （全部代替）

吸气剂气体吸放性能测试方法

基础信息

标准号
GB/T 6626.3-1986
发布日期
1986-07-25
实施日期
1987-07-01
废止日期
2011-05-01
标准类别
方法
中国标准分类号
L32
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

南京工学院

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