国家标准《硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 峨嵋半导体材料厂 。
GB 4058-1983 (全部代替)
GB 6622-1986 (全部代替)
GB 6623-1986 (全部代替)
GB/T 4058-1995 废止
GB/T 4058-2009 (全部代替)
77 冶金 |
77.040 金属材料试验 |
77.040.30 金属材料化学分析 |
本标准等效采用ITU国际标准:ASTM F47:1988。
采标中文名称:。