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国家标准《硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 峨嵋半导体材料厂

目录

标准状态

代替了以下标准

GB 4058-1983 (全部代替)

GB 6622-1986 (全部代替)

GB 6623-1986 (全部代替)

当前标准

GB/T 4058-1995 废止

硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
被以下标准替代

GB/T 4058-2009 (全部代替)

硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

基础信息

标准号
GB/T 4058-1995
发布日期
1995-04-18
实施日期
1995-12-01
废止日期
2010-06-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H26
国际标准分类号
77.040.30
77 冶金
77.040 金属材料试验
77.040.30 金属材料化学分析
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

采标情况

本标准等效采用ITU国际标准:ASTM F47:1988。

采标中文名称:。

起草单位

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