国家标准《真空技术术语》 由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 沈阳真空技术研究所 。
GB 3163-1982 （全部代替）
GB/T 3163-1993 废止
GB/T 3163-2007 （全部代替）
本标准非等效采用ISO国际标准：ISO 3529:1981。
采标中文名称:。
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