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国家标准《硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位北京有色金属研究总院。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 13388-1992 废止

硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法

被以下标准替代

GB/T 13388-2009 （全部代替）

硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

基础信息

标准号: GB/T 13388-1992
发布日期: 1992-02-19
实施日期: 1992-10-01
废止日期: 2010-06-01
上次复审日期: 2010-07-28
上次复审结论: 继续有效

标准类别: 方法
中国标准分类号: H21
归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门: 国家标准委

采标情况

本标准等同采用ITU国际标准：ASTM F847:1983。

采标中文名称:。

起草单位

北京有色金属研究总院

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