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国家标准计划《微电子机械器件基于应力放大结构的MEMS器件残余应力测试方法》由 TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位工业和信息化部电子第五研究所。

目录

项目进度

当前标准计划

20265366-T-339 正在起草

微电子机械器件基于应力放大结构的MEMS器件残余应力测试方法

基础信息

计划号: 20265366-T-339
制修订: 制定
项目周期: 15个月
下达日期: 2026-10-30

标准类别

方法

国际标准分类号

31.200

31 电子学

31.200 集成电路、微电子学

归口单位

全国集成电路标准化技术委员会

执行单位

全国集成电路标准化技术委员会

主管部门

工业和信息化部（电子）

起草单位

工业和信息化部电子第五研究所

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