国家标准计划《光刻机工件台速度稳定性测试 激光干涉法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 哈尔滨工业大学 、中国计量科学研究院 、中国电子技术标准化研究院 、黑龙江省计量检定测试研究院 、上海隐冠半导体技术股份有限公司 、三英精控（天津）仪器设备有限公司 。