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地方标准《PAS系列投影光刻机同轴对准系统激光器更换及光路调整一般要求》，主管部门为河北省市场监督管理局。

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标准状态

基础信息

标准号: DB13/T 6236-2025
发布日期: 2025-12-16
实施日期: 2026-01-16

中国标准分类号

N 45

国际标准分类号

13.040.50

13 环保、保健和安全

13.040 空气质量

13.040.50 移动源排放限值

主管部门

河北省市场监督管理局

行业分类

信息传输、软件和信息技术服务业

备案信息

备案号：128828-2026。

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主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
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