行业标准《电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 杭州格林达化学份有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 。

主要起草人 尹云航 、陈玉英 、周利超等 。

备案号：56754-2017。

备案公告： 2017年第1号 。