《表面化学分析 辉光放电质谱 碳化硅杂质元素的测定》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。
碳化硅是支撑新能源汽车、光伏储能、5G通信、航空航天、人工智能等战略性新兴产业发展的基础性材料。
杂质元素含量直接影响碳化硅相关材料性能和器件可靠性，是影响碳化硅产业发展的关键制约因素之一。
国内外尚无相关检测标准。
因此，制定碳化硅中杂质元素测试方法对于规范行业检测流程、提升产品质量、促进产业健康发展具有重要意义。
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