国家标准《电子级四甲基硅烷》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 南大光电半导体材料有限公司 、苏州实验室 、中国电子技术标准化研究院 、江苏南大光电材料股份有限公司 、广州赛西标准检测研究院有限公司 、长江存储科技有限责任公司 、上海市计量测试技术研究院 、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、全椒南大光电材料有限公司 、宁波南大光电材料有限公司 、南大光电（乌兰察布）有限公司 、浙江中宁硅业股份有限公司 、金宏气体股份有限公司 、艾生科（江苏）化工科技有限公司 、南大光电（淄博）有限公司 。

主要起草人 陈德义 、徐文涛 、曹可慰 、茅炳荣 、史泽远 、陈功锋 、张汝志 、马瑞 、孙明璐 、李春华 、孙鹏 、张婷 、赵俊莎 、张健 、鲁铮 、李雪 、高周 、吴怡然 、万烨 、郝萍 、郭威 、魏良杰 、毛国玉 、汪晨 、栗广奉 、刘见华 、刘立伟 、张宝帅 、孙丽丽 、赵斌 、曹益宁 、陆平 、张鹏 、彭元兵 、许胜霞 、刘能巧 、周礼 、孟庆典 、王艺潼 、孙建 、高朋 、张佳瑶 、钱瑶 。