行业标准《集成电路用四甲基硅烷》，主管部门为工业和信息化部。
标准状态
基础信息
- 标准号
- YS/T 1825-2025
- 发布日期
- 2025-12-17
- 实施日期
-
2026-07-01
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
-
29.045
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 制造业
备案信息
备案号：104152-2026。
适用范围
本文件规定了四甲基硅烷的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于集成电路行业制造中使用的四甲基硅烷。
相近标准(计划)
- GB/T 46699-2025 电子级四甲基硅烷
- HG/T 4789-2014 工业用甲基三乙氧基硅烷
- HG/T 5153-2017 工业用苯基三甲氧基硅烷
- HG/T 5154-2017 工业用甲基苯基二甲氧基硅烷
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- HG/T 5621-2019 工业用二异丁基二甲氧基硅烷
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- GB/T 35501-2017 工业用甲基三甲氧基硅烷
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