国家标准计划《激光器外延芯片用砷化镓衬底》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 广东先导微电子科技有限公司 、云南鑫耀半导体材料有限公司 、中国电子科技集团第十三研究所 、北京大学东莞光电研究 、有研国晶辉新材料有限公司 。