国家标准计划《激光器外延芯片用砷化镓衬底》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 广东先导微电子科技有限公司 、全磊光电股份有限公司 、云南鑫耀半导体材料有限公司 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、山东华光光电子股份有限公司 、北京大学东莞光电研究院 、厦门银科启瑞半导体科技有限公司 、广东晶智光电科技有限公司 、桂林光隆科技集团股份有限公司 。

主要起草人 王金灵 、周铁军 、刘留 、单智发 、吴春龙 、惠峰 、孙聂枫 、马金峰 、吴德华 、刘强 、王玉 、狄聚青 、陈春明 、郑兆河 。