国家标准计划《微束分析 扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院地质与地球物理研究所 、核工业北京地质研究院 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 15632:2021。

采标中文名称:微束分析 扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)用X射线能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法。