国家标准计划《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。 拟实施日期：发布后10个月正式实施。

主要起草单位 中国计量科学研究院 。

主要起草人 王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16413:2013。

采标中文名称:X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告。