国家标准计划《表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 上海市计量测试技术研究院 、上海科技大学 、中国科学院化学研究所 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TS 25138。

采标中文名称:表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜。