国家标准《表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 上海市计量测试技术研究院 、华东师范大学 、中国科学院化学研究所 。

主要起草人 徐建 、郝萍 、张云艳 、刘芬 、吴立敏 、陈永康 、朱丽娜 、周莹 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TS 25138:2010。

采标中文名称:表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜。