国家标准计划《微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学技术大学 、安徽大学 、新疆师范大学 、中国科学院合肥物质研究院 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 21466:2019。

采标中文名称:微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法。