国家标准《微束分析 扫描电子显微术 术语》 由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国科学院上海硅酸盐研究所 。
主要起草人 李香庭 、曾毅 。
GB/T 23414-2009 现行
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 22493:2008。
采标中文名称:微束分析 扫描电子显微术 术语。