《电子气体 六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

电子级六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。

在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。

近年来，随着大规模集成电路技术的进步，市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。

在此背景下，为提升电子特气科技水平发展，现申请立项制定《电子气体 六氟化硫》国家标准英文版。