国家标准《纳米定位与扫描平台术语》 由TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 沈阳建筑大学 、三英精控（天津）仪器设备有限公司 、广东工业大学 、中国计量科学研究院 、苏州昊通仪器科技有限公司 、沈阳理工大学 。

主要起草人 须颖 、戴敬 、安冬 、邵萌 、施玉书 、贾静 、戴超 、文杰 、王贺 。