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国家标准《电子工业用气体 硅烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 西南化工研究设计院有限公司浙江赛林硅业有限公司广东华特气体股份有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司高麦仪器公司天津长芦华信化工股份有限公司大连大特气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海计量测试研究院化工气体质检中心江苏中能硅业科技发展有限公司浙江中宁硅业有限公司南京亚格泰新能源材料有限公司浙江大学安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司

主要起草人 余京松杨智敏傅铸红杜汉盛孙福楠牛艳东李长富周朋云曲庆方华陈鹰常侠刘晓霞周延江高平洲徐昕

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 15909-2017
发布日期
2017-05-31
实施日期
2017-12-01
全部代替标准
GB/T 15909-2009
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

代替以下标准

全部代替 GB/T 15909-2009

起草单位

起草人

余京松
杨智敏
孙福楠
牛艳东
曲庆
方华
刘晓霞
周延江
傅铸红
杜汉盛
李长富
周朋云
陈鹰
常侠
高平洲
徐昕

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