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国家标准《蓝宝石衬底片翘曲度测试方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司中国科学院上海光学精密机械研究所北京合能阳光新能源技术有限公司

主要起草人 薛抗美魏明德黄修康杭寅林清香肖宗杰

目录

标准状态

当前标准

GB/T 31352-2014 现行

蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

基础信息

标准号
GB/T 31352-2014
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040.99
77 冶金
77.040 金属材料试验
77.040.99 金属材料的其他试验方法
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

薛抗美
魏明德
林清香
肖宗杰
黄修康
杭寅

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