国家标准《蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 天通控股股份有限公司 。
主要起草人 康森 、宋岩岩 、邵峰 、沈瞿欢 、於震杰 。
GB/T 34504-2017 现行
GB/T 24578-2024 (全部代替)