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国家标准《蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 天通控股股份有限公司

主要起草人 康森宋岩岩邵峰沈瞿欢於震杰

目录

标准状态

当前标准

GB/T 34504-2017 现行

蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
即将被以下标准替代

GB/T 24578-2024 (全部代替)

半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法

基础信息

标准号
GB/T 34504-2017
发布日期
2017-10-14
实施日期
2018-05-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

康森
宋岩岩
於震杰
邵峰
沈瞿欢

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