国家标准《氮化铝单晶复合衬底》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 松山湖材料实验室 、北京大学 、北京大学东莞光电研究院 、广东中图半导体科技股份有限公司 、江苏第三代半导体研究院有限公司 。

主要起草人 王新强 、袁冶 、刘上锋 、刘放 、王琦 、梁智文 、吴载炎 、张能 、刘宗亮 。