国家标准《高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法》 由TC487（全国光电测量标准化技术委员会）、全国微机电技术标准化技术委员会联合归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 南京理工大学 、上海市计量测试技术研究院有限公司 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 、中国科学院微电子研究所 、中国计量科学研究院 、中国科学院空天信息创新研究院 、齐之明光电智能科技（苏州）有限公司 、南京智群光电技术有限公司 、苏州热工研究院有限公司 、浙江大学苏州工业技术研究院 、无锡华润上华科技有限公司 。

主要起草人 高志山 、袁群 、马剑秋 、霍霄 、雷李华 、赵琳 、何洪涛 、徐爱东 、时文华 、鞠涛 、史云涛 、周维虎 、施玉书 、王璞 、巩岩 、李季 、罗坤杰 、徐志毅 、陈红 、夏长奉 。