行业标准《高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定高纯砷中杂质含量》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 峨嵋半导体材料厂 、峨嵋山嘉美高纯材料有限公司 。

主要起草人 程高明 、邹同贵等 。

备案号：35536-2012。

备案公告： 2012年第3号 。