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行业标准《集成电路主要工艺设备术语》，主管部门为电子工业部。

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标准状态

基础信息

标准号: SJ/T 10152-1991
发布日期: 1991-04-02
实施日期: 1991-07-01

主管部门: 电子工业部
行业分类: 无

备案信息

备案号：2355-1992。

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