行业标准《石英玻璃碇 第3部分：等离子化学气相沉积法》由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中国建筑材料科学研究总院有限公司 、中国国检测试控股集团股份有限公司 、中建材衢州金格兰石英有限公司 。

主要起草人 杜秀蓉 、孙元成 、宋学富 、张晓强 、杨学东 、杨晓会 、王京侠 、花宁 。

备案号：95112-2024。

备案公告： 2024年第7号 。

本文件规定了等离子化学气相沉积法石英玻璃碇的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于以四氯化硅等无氢含硅化合物为原料，在等离子高温火焰中气相化学反应沉积而成的石英玻璃碇。