国家标准计划《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 上海市计量测试技术研究院 、纳米技术及应用国家工程研究中心 。

主要起草人 徐建 、陆敏 、吴立敏 、朱丽娜 、辛立辉 、何丹农 、张冰 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 18516:2006。

采标中文名称:表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定。