国家标准计划《太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国有色金属工业标准计量质量研究所 、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司 、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 、有研半导体材料股份有限公司 、特变电工新疆新能源股份有限公司 、洛阳鸿泰半导体有限公司 、连云港国家硅材料深加工产品质量监督检验中心 。

主要起草人 徐自亮 、任皓 、陈佳洵 、李锐 、孙燕 、熊金杰等 。