国家标准计划《氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后3个月正式实施。
主要起草单位 北京科技大学 、中国科学院半导体研究所 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、中国科学院青海盐湖研究所 、青海圣诺光电科技有限公司 。
主要起草人 齐俊杰 、魏学成 、闫丹 、李素青 、卫喆 、胡超胜 、李志超 、许磊 、王军喜 、李晋闽 、魏明 、刘江华 、张成荣 。
20202918-T-469 已发布
77 冶金 |
77.040 金属材料试验 |