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国家标准计划《氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后3个月正式实施。

主要起草单位 北京科技大学中国科学院半导体研究所有色金属技术经济研究院有限责任公司中国科学院青海盐湖研究所青海圣诺光电科技有限公司

主要起草人 齐俊杰魏学成闫丹李素青卫喆胡超胜李志超许磊王军喜李晋闽魏明刘江华张成荣

目录

项目进度

当前标准计划

20202918-T-469 已发布

氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法

基础信息

计划号
20202918-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2020-08-07
标准类别
方法
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

齐俊杰
魏学成
卫喆
胡超胜
王军喜
李晋闽
张成荣
闫丹
李素青
李志超
许磊
魏明
刘江华

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