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国家标准计划《平板显示阵列用正性光阻材料测试方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 京东方科技集团股份有限公司上海彤程电子材料有限公司中国电子技术标准化研究院阜阳欣奕华材料科技有限公司江阴润玛电子材料股份有限公司福建泓光半导体材料有限公司

主要起草人 杨澜程龙吴怡然赵俊莎曹可慰李琳吴京玮岳爽李璐戈烨铭何珂曾成财袁晓雷

目录

项目进度

当前标准计划

20204091-T-469 已发布

平板显示阵列用正性光阻材料测试方法

基础信息

计划号
20204091-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2020-11-19
标准类别
方法
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
31 电子学
31.030 电子技术专用材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

杨澜
程龙
曹可慰
李琳
李璐
戈烨铭
袁晓雷
吴怡然
赵俊莎
吴京玮
岳爽
何珂
曾成财

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