国家标准计划《半导体设备电压暂降抗扰度要求》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 中微半导体设备(上海)有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。

主要起草人 曹可慰 、李小娟 。