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国家标准计划《集成电路制造中的套刻检测图形规范》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国科学院微电子中心。

目录

项目进度

当前标准计划

20000353-T-491 已终止

集成电路制造中的套刻检测图形规范

基础信息

计划号: 20000353-T-491
制修订: 制定
项目周期: 84个月
下达日期: 2005-12-14

标准类别: 方法
归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门: 国家标准委

起草单位

中国科学院微电子中心

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