注册

国家标准《用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 上海华虹NEC电子有限公司

主要起草人 王雷伍强朱骏陈宝钦

目录

标准状态

当前标准

GB/T 29844-2013 现行

用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范

基础信息

标准号
GB/T 29844-2013
发布日期
2013-11-12
实施日期
2014-04-15
标准类别
基础
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
31 电子学
31.030 电子技术专用材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

王雷
伍强
朱骏
陈宝钦

相近标准(计划)