国家标准《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研半导体材料有限公司 、上海合晶硅材料有限公司 、有色金属技术经济研究院 、北京聚睿众邦科技有限公司 、厦门银固美能源科技有限公司 。

主要起草人 王永涛 、孙燕 、徐新华 、胡金枝 、任丹雅 、赵志婷 、蔡丽艳 、杨素心 、陆敏 、林兴乐 。