行业标准《硅材料中氢含量的测定 惰性气体熔融热导法》,主管部门为工业和信息化部。
备案号:100704-2025。
备案公告: 2025年第7号 。
适用于硅材料中氢含量的测定,测定范围为0.05μg/g~25000μg/g。